高速掃描電子顯微鏡 

HEM6000

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。

采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。

面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

性能特點

圖像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速電壓：100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)

分辨率：1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE

視場大小：最大視場1*1 mm2，高分辨微畸變視場32*32 um2

樣品臺精度：重復定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速掃描驅(qū)動器                                  電子過濾系統(tǒng)

駐點時間10 ns/pixel，                       SE/BSE信號自由切換，

最快采集速度2*100 M pixel/s            MIX成像信號比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)                           樣品臺減速技術(shù)

可實現(xiàn)高分辨大場模式，                    降低入射電子落點電壓，

4 nm像素點最大視場達32*32 um2     同時提高回收電子的收集效率

浸沒式電磁復合物鏡

物鏡磁場浸沒樣品

實現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢

01 高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

02 大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

03 低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

半導體工業(yè)

生命科學

材料科學

地質(zhì)科學

應(yīng)用案例

芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns

芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns

生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 116x / BSE / 120 ns

產(chǎn)品參數(shù)

服務(wù)

掃描電子顯微鏡實驗室 

我們在合肥、無錫、廣州和上海設(shè)有掃描電子顯微鏡實驗室，實驗室配備多名電鏡技術(shù)專家和高級電鏡應(yīng)用工程師，提供包含電 鏡應(yīng)用技術(shù)開發(fā)、樣品拍攝在內(nèi)的多種服務(wù)。主要應(yīng)用領(lǐng)域有鋰電池、新型納米材料、半導體材料、礦物冶金、地質(zhì)勘探、生物醫(yī)藥等。 實驗室依托國儀量子電鏡產(chǎn)品，在電鏡應(yīng)用領(lǐng)域開展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的科研項目，致力于實現(xiàn)科學研究和人才培養(yǎng)的目標。與此同時，實驗室也為有電鏡應(yīng)用需求的科研院所、大專院校、企事業(yè)單位提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

國產(chǎn)高速掃描電子顯微鏡 HEM6000由國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司 為您提供，如您想了解更多關(guān)于國產(chǎn)高速掃描電子顯微鏡 HEM6000 報價、型號、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途。