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GB/T 25915.14-2022
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第14部分:按粒子濃度評估設(shè)備適用性

Cleanrooms and Related Controlled Environments Part 14: Assessing Equipment Suitability by Particle Concentration

GBT25915.14-2022, GB25915.14-2022


標準號
GB/T 25915.14-2022
別名
GBT25915.14-2022, GB25915.14-2022
發(fā)布
2022年
總頁數(shù)
24頁
采用標準
ISO 14644-14:2016 IDT
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
當前最新
GB/T 25915.14-2022
 
 
引用標準
GB/T 25915.1-2021
適用范圍
本文件適用于評估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機械、測試設(shè)備、工藝設(shè)備、部件及工具等設(shè)備的適用性。根據(jù)GB/T25915.1,關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為0.1μm 至大于或等于5μm。 本文件不適用于: ———根據(jù)微生物污染評估適用性; ———對清潔劑及清潔技術(shù)的適用性進行測試; ———設(shè)備和材料的可清潔性; ———設(shè)備設(shè)計及材料選擇的要求; ———材料的靜電、熱學(xué)等物理性能; ———具體工藝場合設(shè)備性能的優(yōu)化; ———測試統(tǒng)計方法的選用; ———當?shù)匕踩ㄒ?guī)的條款和要求。
術(shù)語描述
潔凈度
cleanness
污染物濃度控制在一定限值以內(nèi)的狀態(tài)。
潔凈室
clean room
空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間,其設(shè)計、建造到運行均使進入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。
潔凈區(qū)
clean zone
空氣懸浮粒子計數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。

GB/T 25915.14-2022 中可能用到的儀器設(shè)備


專題


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