作廢
氧化物半導(dǎo)體具有工藝溫度低、透明度好、薄膜可大面積生長(zhǎng)、電子遷移率高、能帶隙寬等優(yōu)點(diǎn),這些優(yōu)點(diǎn)使其適用于內(nèi)存驅(qū)動(dòng)電路以及基于高性能薄膜晶體管的邏輯電路。隨著人們對(duì)實(shí)現(xiàn)具有新功能和超強(qiáng)計(jì)算能力的新型計(jì)算架構(gòu)越來越感興趣,開發(fā)高性能氧化物半導(dǎo)體晶體管以實(shí)現(xiàn)兼容CMOS 后端工藝的單片三維集成電路已迫在眉睫?! ?..
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