ASTM F1374-92(2005)由美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì) US-ASTM 發(fā)布于 1992。
ASTM F1374-92(2005) 在中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類中歸屬于: J15 管路附件。
ASTM F1374-92(2005) 氣體分配系統(tǒng)組件內(nèi)表面IC/GC/FTIR的離子/有機(jī)可萃取物的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法的最新版本是哪一版?
最新版本是 ASTM F1374-92(2020) 。
該測(cè)試方法的目的是定義測(cè)試考慮安裝到高純度氣體分配系統(tǒng)中的電解拋光不銹鋼部件的程序。應(yīng)用該測(cè)試方法預(yù)計(jì)將在測(cè)試的組件之間產(chǎn)生可比較的數(shù)據(jù),以鑒定該安裝。如圖。 1 離子/有機(jī)貢獻(xiàn)數(shù)據(jù)表圖示2 離子/有機(jī)貢獻(xiàn)數(shù)據(jù)表 圖解1.1 本測(cè)試方法建立了測(cè)試超高純氣體分配系統(tǒng)中使用的組件的離子和有機(jī)表面殘留物的程序。
1.2 本測(cè)試方法適用于含有氣態(tài)電子級(jí)材料的在線組件。
1.3 局限性:
1.3.1 本測(cè)試方法受到檢測(cè)儀器靈敏度和提取溶劑可用純度水平的限制。雖然離子色譜和氣相色譜方法是定量的,但傅里葉變換紅外光譜 (FTIR) 方法可用作定性或定量工具。此外,還使用氣相色譜 (GC) 和 FTIR 方法來(lái)檢測(cè)殘留在部件內(nèi)表面上的碳?xì)浠衔锖望u化物質(zhì)。這消除了那些具有高蒸氣壓的材料,這些材料是根據(jù)該測(cè)試方法在總碳?xì)浠衔餃y(cè)試中進(jìn)行分析的。
1.3.2 本測(cè)試方法適用于具有相當(dāng)于 12 個(gè)月經(jīng)驗(yàn)水平的設(shè)備使用理解水平的操作員。
1.4 以 SI 單位表示的數(shù)值應(yīng)視為標(biāo)準(zhǔn)。括號(hào)中給出的英寸-磅單位僅供參考。
1.5 本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問(wèn)題(如果有)。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。具體危險(xiǎn)說(shuō)明見第 6 節(jié)。
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